Англо-русскоязычный научный химический журнал
"БУТЛЕРОВСКИЕ СООБЩЕНИЯ"
Русский
|
English
Главная/Авторизация
|
О журнале
|
Просмотр журнала/Поиск
|
Первичная регистрация
|
Интернет-конференции
|
Форумы
Сведения о статье:
Бухараев А. А.
,
Нургазизов Н. И.
,
Можанова А. А.
,
Овчинников Д. В.
Наноструктуры. Часть I. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ СЕЛЕКТИВНОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО ДИОКСИДА КРЕМНИЯ
Данные о статье:
Название статьи:
Наноструктуры. Часть I. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ СЕЛЕКТИВНОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОГО ДИОКСИДА КРЕМНИЯ
Все авторы публикации в порядке следования:
Бухараев А. А.
,
Нургазизов Н. И.
,
Можанова А. А.
,
Овчинников Д. В.
Аннотация:
Мы использовали атомно-силовой микроскоп (АСМ) для наблюдения in-situ процессов травления SiO2 в водном растворе HF. Эта работа посвящена АСМ изучению приповерхностного слоя SiO2, модифицированного высокодозовой имплантацией ионов Fe+. Такие образцы представляют собой двухфазный наноструктурированный объект (SiO2 с диспергированными в нем наночастицами Fe). Формирование и развитие нанорельефа во время травления наблюдалось in-situ с помощью АСМ. Затем при помощи программы морфинга на основе экспериментальных АСМ-изображений был создан компьютерный фильм, наглядно демонстрирующий происходящие процессы. Дополнительно проведенные in-situ измерения коэффициента оптического поглощения от наночастиц Fe во время травления, АСМ-измерения ex-situ и также измерения ферромагнитного резонанса от наночастиц позволяет предложить, что наблюдаемая морфология процесса связана с тем, что скорость травления наночастиц Fe - намного выше скорости травления SiO2. Подобный механизм травления был использован для компьютерного моделирования трансформации АСМ-изображения двухфазной наноструктуры. Хорошая корреляция моделируемых и экспериментальных изображений АСМ, а также совпадение соответствующих кривых зависимости шероховатости поверхности от времени травления подтверждают корректность данной структурной модели.
ROI:
jbc-01/0-1-3-25
DOI:
10.37952/jbc-01/0-1-3-25
Ключевые слова:
атомно-силовой микроскоп, SiO2, HF, травление, механизм, нанорельеф, компьютерное моделирование.
Общий форум статьи:
Смотреть форум
Шапка статьи в pdf:
Скачать [размер файла: 199кб.]
Дата: 15.03.2006 18:06:42
Комментарий:
Главная/Авторизация
|
О журнале
|
Просмотр журнала/Поиск
|
Первичная регистрация
|
Интернет-конференции
|
Форумы
Все права пренадлежат © ООО "Инновационно-издательский дом "Бутлеровское наследие".